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    日本富士多成分濃度計

    簡(jiǎn)要描述：日本富士多成分濃度計FUD-1 Model-53的產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
    保養性和高精度內線(xiàn)測量等FUD-1 Model-53的好處就那樣，作為半導體制造工藝把小型單元型發(fā)信器作為特長(cháng)的模型。

    • 產(chǎn)品型號：
    • 廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商
    • 更新時(shí)間：2024-03-22
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    　　日本富士多成分濃度計FUD-1 Model-53的產(chǎn)品簡(jiǎn)介：
     
    　　保養性和高精度內線(xiàn)測量等FUD-1 Model-53的好處就那樣，作為半導體制造工藝把小型單元型發(fā)信器作為特長(cháng)的模型。
     
    　　內置FUD-1 Model-53導電率計
     
    多成分濃度計（専用）
    　　日本富士多成分濃度計的特點(diǎn)：
     
    　　實(shí)時(shí)3成分中的2成分濃度計側可能
     
    　　標準配備模擬DC4～20mA(2系統)及數字RS232C
     
    　　標準配備測量錯誤輸出和警報輸出
     
    　　標準裝備自己診斷功能·錯誤信息表示
     
    　　小型·輕量小區型發(fā)信器在線(xiàn)直接設置可能
     
    　　采用PFA的接液構件、小輸出設計對藥液沒(méi)有影響

     
    　　優(yōu)點(diǎn)：
     
    　　高精度連續計測可能
     
    　　無(wú)需定期調整、校對，無(wú)需維護
     
    　　設置時(shí)的各種調整等不需要也容易設置
     
    　　由于實(shí)時(shí)輸出的工程的反饋也容易

     
    　　用途：
     
    　　CMP工序CMPー及氧化劑濃度管理等
     
    　　清洗過(guò)程中的清洗液濃度管理等(HF+HNO3?HF+H2SiF6等)
     
    　　蝕刻工序中的蝕刻液濃度管理等(TMAH+注冊?TMAH+Si等)

     
    　　規格：
     
    　　型式FUD-1 Model-53
     
    　　轉換器
     
    　　測量參數超聲波傳播速度、溫度、導電率
     
    　　顯示：LCD(濃度1?濃度2?溫度?音速?導電率/各種參數)
     
    　　輸出信號模擬DC4～20mA：2系統(可對濃度值自由設定)
     
    　　數字RS232C(濃度1、濃度2、音速、溫度、導電率、錯誤代碼)
     
    　　警報上下限測量異常：2系統
     
    　　電源AC100V～240V 50/60Hz兩用30VA (DC24V也可使用)
     
    　　結構：面板掛載型(根據DIN標準)
     
    　　環(huán)境溫度轉換器0～50℃
     
    　　RH85%以下(未結露)
     
    　　功能輸出范圍設定功能、警報輸出設定功能、濃度顯示移動(dòng)平均功能、濃度顯示偏移及增益設定功能、自我診斷功能、安全功能、異常值取消功能、溫度時(shí)常數修正
     
    　　選項溫度輸出(DC4～20mA)
     
    　　RS485輸出(不能與RS232C同時(shí)輸出)
     
    　　通道(檢量線(xiàn))大7ch
     
    　　適配發(fā)信器例子SA-20S29+導電率計、SA-20S27+導電率計
     
    　　形式發(fā)信器
     
    　　SA-20S29+導電率計
     
    　　SA-20S27+導電率計
     
    　　振動(dòng)元件PZT(2MHz)x1 PZT(2MHz)x2
     
    　　測量元件熱敏電阻
     
    　　測量液溫度0～100℃0～80℃
     
    　　構造流體
     
    　　接液部材PFA/PFA涂層PFA
     
    　　接縫3/4英尺(可更改)3/4英尺(可更改)
     
    　　耐壓0.3MPa 0.3MPa
     
    　　流量5l/min(推薦)5l/min(推薦)
     
    　　重量2.5kg 2.5kg
     
    　　電纜電纜6m電纜6m
     
    　　環(huán)境溫度5～45℃5～45℃
     
     

     

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